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RF電源、マッチングボックスリペアの御提案 <<保証期間:6ヶ月>> 機械を修理する事で地球温暖化対策にも役立ちます。 |
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<<問合せ先>>> 株式会社HEAT-SCAN (ヒートスキャン)修理事業部
Mail:syuri@heat-scan.co.jp TEL:050-3371-5678 FAX:073-422-8102 修理担当迄
修理は全て日本国内で修理しています。
☆RF電源、マッチングボックスリペアのオーバーホール・修理を行います。 |
修理時のメリット ☆国内修理で対応力が違います。 @納期が早い。(通常受注後2週間、最短2〜3日) A直接納品、現場確認が可能。 ☆技術力と実績に定評があります。 ・国内での修理のみで2000台 豊かな経験と技術に裏打ちされた修理を実施 RF電源、マッチングBOX、DC電源 ・部品調達力があります。 ・部品手配は海外調達可能。 ・国内、海外(アメリカ、台湾、韓国、中国等)からも部品を調達。 |
修理可能なRF電源、マッチングボックス |
RF電源メーカー | マッチングボックスメーカー |
AE(REPP) MKS(ENI・ASTEX) ダイヘン COMDEL ADTEC 京三 パール工業 その他 |
TRAZAR ADTEC AE(RFPP) MKS(ENI・ASTEX) ダイヘン MATTSON PSC/PSK Lam TCP AMAT 京三 その他 |
RF電源の写真 |
RF電源の故障原因の分析 |
主な症状 | 故障要因 |
出力が全く出ない 定格出力が得られない ACパワーがONできない アラーム表示 (PSU Fault・MaxPower・PAU Fault・Watchinng TimeError) ヒューズ交換しても直にヒューズが切れる 出力がふらつく |
トランジスタ、パワーパックの破損 B/Dの故障 ダイオード、コンデンサ・IC・レジスタの不良 RFコネクタの破損 はんだ部分の老化 負荷によるヒューズ破損 水冷ラインの水漏れ |
マッチングボックスの写真 |
マッチングボックスの故障原因の分析 |
主な症状 | 故障要因 |
反射波が高い(マッチングしない) マッチングに時間がかかる 安定しない |
ショートによるAVCの破損 VVCの性能低下 コントロールボード故障 モーター性能低下 ギア消耗 センサーボードの故障 クーリングファンの故障 |
RF電源・マッチングボックス修理フローチャート |
受入検査書作成 ↑ 御客様⇒受入検査⇒修理可否判断⇒YES⇒御見積書作成・提出⇒御客様修理可否判断⇒YES⇒修理⇒エージングテスト⇒出荷検査・出荷 ↓ ↓ ↓ NO⇒御客様判断にて修理をNOと判断された場合、 ↓ 検査費用のみ頂戴いたします。 NO⇒修理がNOと判断した場合、検査費用は頂きません。 |
RF電源・マッチングボックス品質フローチャート |
入荷 | 1.外観目視検査 2.出力確認 3.AC・DC検査 4.コンデンサ、ダイオード、レジスタなどパーツ全般の検査 5.周波数の検査 使用機器:ダミーロード、DMM、オシロオシロスコープ、LCRメーター等 |
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↓ | |||
部品交換 | 1.はんだ付け作業 2.部品の交換 3.B/Dの修理 使用機器:DMM、LCRメーター等 |
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エージングテスト | 1.12時間耐久テスト 2.交換パーツと現行パーツとのバランスチェック 3.交換パーツの性能チェック 使用機器:ダミーロード、パワーメーター、リモートコントローラー等 |
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出荷検査 | 1.内部目視検査 2.クリーニング 3.ケーブルチェック及び清掃 |
設備一覧 |
1.パルスジェネレーター 2.プログラムパワーサプライ 3.オートマチックRCLメーター 4.パワーサプライ 5.ファンクションジェネレーター 6.スペクトラムアナライザー 7.デジタルオシロスコープ 8.リモートコントローラー |
9.デジタルマルチメーター 10.LCRメーター 11.デジエコチラー 12.ダミーロード5K 13.ダミーロード10K 14.ダミーロード50K 15.パワーセンサー 16.パワーメーター |
修理保証 |
1.保証期間::原則として弊社出荷日より6ヶ月以内。その他御打合せ (保障期間満了日以降に装置搭載され、正常に動作されなかった場合は、弊社まで御連絡下さい。) 2.保証内容:前回の修理における部品不良または作業不良に起因する同一箇所・同一故障について無償修理対応します。 ただし、御指摘の不具合が再現しなかった場合の診断費用は有償になります。 3.保障期間内であっても次のような場合には、有償になります。 (イ)保証書が御提示いただけない場合。 (ロ)弊社の交換推奨品に対し、交換を実施しなかった場合。 (ハ)御使用の上の誤りによる故障または損傷。 (ニ)納入後の輸送・移動・設置時の落下・衝撃及び輸送上の故障または損傷。 (ホ)火災・地震・水害・落雷・その他天災などによる故障または損傷。 (ヘ)接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。 (ト)汚れ、異物付着等による故障または損傷。 (チ)弊社以外で分解・改造・調整・部品交換がされた場合。 (リ)シリアル番号が確認できず、弊社により修理された品と確認できない場合。 (ヌ)その他、弊社の責任範囲外と判断される場合。 4.出張修理を行った場合には出張に要する実費を申し上げる場合がございます。 |
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<<問合せ先>>> 株式会社HEAT-SCAN (ヒートスキャン) 修理事業部 〒640-8152 和歌山県和歌山市十番丁91 十番丁センタービル2F Mail:syuri@heat-scan.co.jp TEL 050-3371-5678 FAX 073-422-8102 修理担当迄 2022/06/06 |