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RPS修理の御提案
RPS電源のオーバーホール・修理を行います。

修理、中古品、新古品、調査依頼書ダウンロードはこちらをクリックして下さい。
<<問合せ先>>> 株式会社HEAT-SCAN (ヒートスキャン)修理事業部
Mail:syuri@heat-scan.co.jp TEL:050-3371-5678 FAX:073-422-8102 修理担当迄

RPS(リゾート・プラズマ・ソース)への取り組み
1.The quality of Products 
 RPS(リゾートプラズマソース)の問題点を解析し見直しを行います。
2.価格
 定額修理を実施し御客様のコスト負担の安定化が出来ます。
3.テクニカルサービス
 RPSの性能を向上させる為の改善を行っております。

修理可能なモデル(全てMKS社製)
適応装置CVD、エッチャースパッタ装置
2L 3L 6L 8L 15L 22L
AX-7650
AX-7651
AX-7651-2
Ax-7657
AX-7657-2
AX-7657-5
F120620
F120620-1
AX-7670
AX-7670-02
AX-7670-06
AX-7670-12
AX-7670-16
AX-7670-21
AX-7670-60
AX-7685
AX-7685-01
F180131
F180131-C
F180133
F180132 AX-7640-01
AX-7645PS-01
AX-7645RH-01
F180146
F180146-01
AX-7635-02
AX-7635-03


修理保証
1.保証期間::原則として弊社出荷日より6ヶ月以内。その他御打合せ
        (保障期間満了日以降に装置搭載され、正常に動作されなかった場合は、弊社まで御連絡下さい。)
2.保証内容:前回の修理における部品不良または作業不良に起因する同一箇所・同一故障について無償修理対応します。
ただし、御指摘の不具合が再現しなかった場合の診断費用は有償になります。
3.保障期間内であっても次のような場合には、有償になります。
(イ)保証書が御提示いただけない場合。
(ロ)弊社の交換推奨品に対し、交換を実施しなかった場合。
(ハ)御使用の上の誤りによる故障または損傷。
(ニ)納入後の輸送・移動・設置時の落下・衝撃及び輸送上の故障または損傷。
(ホ)火災・地震・水害・落雷・その他天災などによる故障または損傷。
(ヘ)接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。
(ト)汚れ、異物付着等による故障または損傷。
(チ)弊社以外で分解・改造・調整・部品交換がされた場合。
(リ)シリアル番号が確認できず、弊社により修理された品と確認できない場合。
(ヌ)その他、弊社の責任範囲外と判断される場合。
4.出張修理を行った場合には出張に要する実費を申し上げる場合がございます。






目的、概念
RPS、RF電源のリペアー
コントロールボード及びパワー不良によってプラズマが発生できないRPS及びRF電源を点検、修理してプラズマが正常に発生できるようにする。
RPSのオーバーホール
*故障のRPSを完全分解し検査、修理、消耗性部品(弊社推奨の部品)交換します。
*プラズマが発生させるチェンバーの再陽極酸化処理や新しいチェンバーで交換することでチェンバーの老化によるパーティクル発生問題を会計します。
主な故障内容
1.チャンバー(RPS Reactor)モジュール
*基本構成は、フェライトコアとチャンバー内部のみでプラズマを最大効率になるようように構成されている。
@プラズマ効率が重要である。
*チャンバーモジュールの不具合によるプラズマ点火不良
ARPSに使用されるガス(NF3.SF6)等のチャンバーへの影響
*Oリングがプラズマエッチングされる事によるリーク発生。
*チャンバーコーティングの腐食、アーキングによるクリーニング時間が長くなる。
*腐食部からのパーティクル発生。
2.その他の問題点
RPSはコンパクトデザインの中に各モジュールが組込まれた設計がされており狭い空間で数KWの電力を作る為、電装系に負荷が掛かり故障します。
基盤の焼損及びFETダイオードの破損を修理する事が多くあります。

修理内容
1.チャンバー修理/オーバーホール
修理時毎回交換及び処理
@熱伝動性PAD
AOリング
Bセラミックワッシャー
Cチャンバーガスモジュール アノード処理
Dイグニッション端子
Eチャンバー交換
2.基盤修理
検査及び不良部品交換

RF電源・マッチングボックス修理フローチャート
修理前              修理後
AX7651(2L)
RF電源 マッチングボックス 修理 オーバーホール 中古品 新古品 RF電源 マッチングボックス
AX8670(3L)
RF電源 修理 オーバーホール
AX7680/AX7685(6L)
RPS エッチャースパッタ RPS
RPS電源 RPS電源
修理前 修理後
AX7635(16L)




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株式会社HEAT-SCAN
     (ヒートスキャン)
修理事業部
640-8042
和歌山県和歌山市西ノ店31-101
Mail:syuri@heat-scan.co.jp
TEL 050-3371-5678
FAX 073-422-8102
修理担当迄


2018/09/27